微波等离子体的发生方法
作为一种常用的微波放电装置。微波振荡器一般使用磁控管，这是由于磁控管属自激振
荡管，无需增幅器，使电源回路比较简单的缘故。在电路上与低频电路不同的是，微波电路使用立体元件。传输线最常用的是矩形金属波导管。为了保护磁控管免遭负载侧产生的反射波损伤，在波导传输线中需接入“隔离器”。特别是气体放电这样负载条件易变动的场合，隔离器尤显必要。它可以让正向传输波（入射波）几乎无衰减地通过，而反向传输波（反射波）偏转９０。之后被模拟负载吸收掉。入射波和反射波的功率用带有定向藕合器的功率测量仪测定。在传输线终端大都利用空腔谐振器与放电管ａ合。为了调匹配，则在波导传输线中插入了三螺钉式匹配器。
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