微波等离子体的特点

微波等离子体的特点

　　（１）活性强，微波等离子体对气体的电离和离解程度比其他类型的等离子体（如电弧等离子体）高１０倍。因此，微波等离子体更能增强气体分子的激发、电离和离解过程，激发的亚稳态原子多。例如氮在直流及射频放电时，用光谱方法测不出有氮原子谱线，但在微波等离子体中都出现氮谱线。说明氮在直流和射频放电中，即使能分解成氮原子，也只是激发态的氮。

 　（２）反应区内没有电极，因此，消除了电极自身造成的污染。适合于作高纯度物质的制备和处理，而且工艺效率更高。

　 （３）反应区内的压力能在很宽范围进行调整。

 　（４）微波等离子体中自由电子的温度高于离子的温度，因此，通过适当的电磁场、气压、气体种类的选择和调整，可控制反应区中的温度范围。

 　（５）利用微波电磁场的分布特点，即所谓“空洞结构”，有可能把等离子体封闭在特定的空间；也可以利用磁场来输送等离子体，这样做的目的是让工艺加工区域与放电空间分离这样一来，即便于采取各种相宜的工艺措施，又能避免等离子体的辐射损伤或消除可能产生的某些副反应。

  　由于具有上述的特点，微波等离子体在材料的合成、烧结、沉积和浸蚀、表面处理等方面。