金属、无机材料的微波氮化处理
金属、无机材料的氮化处理装置往往采用等离子体发生室和处理室合一的装置。以金属的氮化处理为例，使用氮和氢的混合气体，加入氢的目的就是除去金属表面的氧化物，使氮化容易进行。在离子体中，除了有氮和氢的原子的电离、分子的电离外，同时存在着活泼的氮原子和氢原子等粒子。这些活泼的原子、离子和金属表面发生作用，生成氮化物。典型的处理条件是，气压为０．１ Ｔｏｒｒ一１ Ｔｏｒｒ，流量为１０ｍ１／ｍｉｎ１００ｍ１／ｍｉｎ，微波能功率为０．５ｋＷ －－ ３ｋＷ，处理时间为几十分到几小时。
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